分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞，提高泵的抽氣效果。



由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結構的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變，使氣體分子的運動在聯(lián)接處由有序變成無序，致使返流增加，抽氣能力下降。
工作條件



轉子轉速達到20000r/min，故分子泵啟動時間較長。



氣體處于分子流狀態(tài)，故需要配備前級泵，一般使用旋片泵作為前級泵。



2特點



油潤滑分子泵：潤滑油量小，且在前級真空段，對真空室污染小。



脂潤滑分子泵：油脂量極小，前級配干泵可獲得近似無油的清潔真空。



全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環(huán)境。



3其他常見應用



分析(質(zhì)譜分析、電子顯微鏡等)



半導體(電子組件、集成電路、柔性太陽能電池等)



光學/玻璃(熱保護,增透、反射、光學濾光膜)



鍍膜(表面保護，裝飾涂料，顯示器，屏幕)



真空冶金(真空爐、真空釬焊、真空燒結、真空合金、)



泄漏檢測(真空系統(tǒng)、車輛的油箱,安全氣囊



研究實驗(醫(yī)學核磁共振成像、核粒子物理，核聚變研究，激光應用和許多更多)



燈生產(chǎn)行業(yè)及相關



4分子泵故障處理



  1、分子泵為何會發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象？

  原因：附近有光照或其他熱源

  解決方法：避免光照或熱源

  2、分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑，請問油為什么發(fā)黑？或者多長時間油才會變黑？

  原因：冷卻不良，負載太大

  解決方法：檢查冷卻系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng)

  3、分子泵在運轉過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復到正常，反反復復，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請問該現(xiàn)象如何解釋？

  原因：負載太大，系統(tǒng)真空度不夠

  解決方法：檢查系統(tǒng)

  4、分子泵軸承為什么會燒毀

  原因：①缺乏定期維護②冷卻不良導致過熱③沒有及時換油④抽除的氣體中含有大量粉塵

  解決方法：①及時維護②檢查冷卻系③及時換油④隔離粉塵

  5、有防護網(wǎng)保護，為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內(nèi)？

  原因：防護網(wǎng)破裂，前級管道破裂

  解決方法：優(yōu)化系統(tǒng)設計

  6、真空度很好的情況下，分子泵油為何會返到前級管道？

  原因：油池破裂或密封不良

  解決方法：檢查油池

  7、正常使用下，為什么分子泵油池會出現(xiàn)裂紋或者變形

  原因：過熱，負載大

  解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng)

  8、分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？

  原因：應是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。

  解決方式：應是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。

  9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗，使用才安全？

  答：不作特殊限定，至少3個，按照法蘭大小可選3、6、12、24等

  10、變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂？

  答：①電壓不穩(wěn)②強干擾③高壓打火

  11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格標準，是多少？

  答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要指定儀器和特定的測試環(huán)境

  12、分子泵是否對冷卻有明確要求？如風冷需要外界溫度是多少？如水冷則對水有何具體要求？如未達到要求會出現(xiàn)何后果？

  答：注意水溫和水流量，冷卻不良會導致無故停機、碎泵、油變黑等。

  13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題，應如何做？

  答：電源本身有接地線，只需要保證市網(wǎng)有良好接地就可以了；屏蔽主要是指對強磁場和強輻射的屏蔽。

  14、變頻器電源，轉速上升過程中就自動關機，即顯示“Poff”？

  答：原因：電壓低

  15、分子泵葉片破碎的原因：

  答：造成分子泵轉子、靜子打碎的原因比較多，歸納起來主要是以下幾點：

  ①、誤操作;比如突然的破真空，因為轉子與靜子葉片之間的空隙非常的小，如果葉片的材質(zhì)比較薄或者比較軟，突然的空氣阻力會造成葉片變形，這樣可能會造成轉子靜子之間的摩擦，導致打碎。

  ②、是異物掉入;沒有安裝過濾網(wǎng)肯定不行的，另外掉進去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側面90度或倒立安裝，避免異物掉入。

  ③、電壓的不穩(wěn)定，特別對磁浮類的分子泵損傷較大。

  ④、前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出，真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流高，分子泵溫度升高等。

  ⑤、分子泵保養(yǎng)時的動平衡沒有做好，這是技術的關鍵，動平衡差，振動就大，抽氣效率就差，也容易造成軸承部分的過度磨損。

  ⑥、軸承部分沒有使用原廠的標準軸承，效果和尺寸不標準等。


  ⑥、軸承部分沒有使用原廠的標準軸承，效果和尺寸不標準等。
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